自動變焦三維表麵形貌測量儀InfiniteFocus G4

自動變焦三維表麵形貌測量儀InfiniteFocus G4由奧地利alicona公司研發生產，是一款用於實驗室研究和生產控製的高分辨率光學三維表麵測量儀，它將形貌測量和粗糙度測量*地結合在同一個係統中，垂直分辨率達10nm。

自動變焦 G4的主要功能：

表麵形貌測量

粗糙度測量

表麵紋理測量

體積測量

二維圖像測量

重複性測量任務的編程操作

形狀測量

偏差測量

輪廓測量

刃口測量

自動變焦 G4的技術參數：

位移範圍(X、Y、Z軸)：100×100×100mm

樣品表麵結構：表麵形貌Ra＞10-15nm，Lc=2µm

zui大樣品高度：100mm-240mm

zui大樣品傾斜角：85°

zui大掃描高度：22mm

*垂直分辨率：10nm

zui大掃描麵積：10000mm2

zui大單一掃描範圍：100mm

zui小測量粗糙度（Ra）：30nm

zui小測量粗糙度（Sa）：15nm

zui小測量半徑：1µm

zui小測量角度：20°

自動變焦 G4的主要特點：

能夠同時測量形貌和粗糙度
能夠測量小半徑和小角度
能夠測量超過80°的斜麵
標準真實的顏色信息
提供360°的形狀和粗擦度測量
檢測具有不同表麵特征的表麵