白光幹涉儀是利用光學幹涉原理研製開發的超精細表麵輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表麵和參考鏡表麵。從兩個表麵反射的兩束光再次通過分光鏡後合成一束光，並由成像係統在CCD相機感光麵形成兩個疊加的像。由於兩束光相互幹涉，在CCD相機感光麵會觀察到明暗相間的幹涉條紋。幹涉條紋的亮度取決於兩束光的光程差，根據白光幹涉條紋明暗度以及幹涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。

　　它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋麵廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鍾以內，確保了高款率檢測。白光幹涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用於從光滑到粗糙等各種精細器件表麵的測量。

　　幹涉儀的應用極為廣泛，主要有如下幾方麵：

　　①長度的精密測量。在雙光束幹涉儀中，若介質折射率均勻且保持恒定，則幹涉條紋的移動是由兩相幹光幾何路程之差發生變化所造成，根據條紋的移動數可進行長度的精確比較或絕對測量。邁克耳孫幹涉儀和法布裏-珀羅幹涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。

　　②折射率的測定。兩光束的幾何路程保持不變，介質折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利幹涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型幹涉儀。應用於風洞的馬赫-秦特幹涉儀被用來對氣流折射率的變化進行實時觀察。

　　③波長的測量。任何一個以波長為單位測量標準米尺的方法也就是以標準米尺為單位來測量波長的方法。以國際米為標準，利用幹涉儀可精確測定光波波長。法布裏-珀羅幹涉儀(標準具)曾被用來確定波長的初級標準(鎘紅譜線波長)和幾個次級波長標準，從而通過比較法確定其他光譜線的波長。

　　④檢驗光學元件的質量。泰曼幹涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質量。在泰曼幹涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到幹涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據幹涉圖樣了解由透鏡造成的波麵畸變，從而評估透鏡的波像差。

　　⑤用作高分辨率光譜儀。法布裏-珀羅幹涉儀等多光束幹涉儀具有很尖銳的幹涉極大，因而有很高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。